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單晶爐控制系統(tǒng)解決方案

文章來(lái)源：本站人氣：1931發(fā)表時(shí)間：2015-09-01 08:53:55 【小中大】

單晶爐是生長(zhǎng)硅單晶的主要設(shè)備，是在惰性氣體環(huán)境中，通過(guò)石墨電阻加熱器將多晶硅加熱融化，然后用軟軸直拉法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)的單晶生長(zhǎng)設(shè)備。下圖是單晶爐圖片及系統(tǒng)構(gòu)造圖：

單晶爐控制系統(tǒng)相關(guān)功能如下：
1. 伺服應(yīng)用于坩堝升降及籽晶提升系統(tǒng)；
2. 觸摸屏進(jìn)行數(shù)據(jù)輸入及狀態(tài)顯示；
3. 視覺實(shí)時(shí)測(cè)量晶棒生長(zhǎng)尺寸；
4.PLC 承載著整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)算及執(zhí)行。

OMRON FZ3 產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. 達(dá)到前所未有的高精度測(cè)量 --500 萬(wàn)像素；
2. 全景圖象處理 -- 將 2 臺(tái)或多臺(tái)相機(jī)圖象進(jìn)行合成；
3. 高動(dòng)態(tài)范圍的功能 --FZ3 可以獲得高達(dá) 500 ： 1 的動(dòng)態(tài)范圍；
4. 圖像失真修正 -- 減少輸送過(guò)程或照相機(jī)位置的影響；
5. 高速防光暈過(guò)濾器 -- 通過(guò)分析光的波長(zhǎng)來(lái)消除產(chǎn)生光暈的鏡面反射。
使用FZ3特有的“圓弧搜索”功能測(cè)量“引晶”“放肩”工藝，用“邊緣搜索”功能測(cè)量“轉(zhuǎn)肩”“等徑”工藝?！耙А彪A段采集10個(gè)數(shù)據(jù)，“等徑”采集80個(gè)數(shù)據(jù)，大大提升了FZ3測(cè)量精度和數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

以下是FZ3在OC構(gòu)造的單晶爐控制系統(tǒng)中拍攝的圖片：